在硅系列太阳能电池中，哪一类的电池是转换率高的呢?不容质疑，那就是单晶硅大阳能电池，它不但转换率高，同时技术也是较为成熟的。而高性能的单晶硅电池则是建立在高质量的单晶硅材料以及相关的成热的加工处理工艺基础上的。
如今单晶硅的电池工艺以及变得越来越成熟，因为在之前的电池制作中，一般都是采用表面织构化、发射区钝化、分区掺杂等各类技术的，而且开发的电池主要都是由平面单晶硅电池以及刻槽埋栅电极单晶硅电池。
而要想提高转化效率主要就是靠单晶硅表面的微结构处理以及分区掺杂工艺。而在这个方面，德国夫朗霍费费莱堡太阳能系统研究所采用光刻照相技术将电池表面织构化，制成倒金字塔结构。同时在表面把13nm厚的氧化物钝化层和两层都减反射涂层相结合.进而通过改进的电镀过程增加栅极的宽度和高度的比率：然后再通过以上所制得的电池转化效率超过23%，最大值可达23.3%。
就目前来说，Kyocera公司所制备的大面积(225cm2)单电晶太阳能电池转换效率能够达到19.44%，平面高效单晶硅电池(2cm X 2cm)转换效率则达到19.79%，而刻槽埋栅电极晶体硅电池(5cm X 5cm)转换效率可以达8.6%。
因此，总的来说，单晶硅太阳能电池转换效率自然就是较高的，这也使得它在大规模应用以及工业生产中还是占据的非常重要的地位。
